4027F 系列精密濾波射頻功率感測器

重點應用

• 專為半導體加工及精密加工應用設計

• 校準可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)

• 提供濾波量測，消除震幅調變及諧波的影響

• 在指定頻率和功率水平下達 ±1% 準確度，最大限度地減少不良生產良率

特點

• 型號涵蓋 1.8 MHz 至 63 MHz 的頻率範圍

• 型號涵蓋 100 W 到 10 kW 的功率範圍

• 使用前無需現場校準，每六個月校準一次

• 與 4421A 多功能儀表搭配可即插即用

• 提供數十種連接器選配

可與4421A 多功能功率計、SCC7 及 MSCC7 校準車搭配使用

搭配 4421A 多功能功率計，即可連接一至兩個功率感測器進行量測，並且同時呈現兩組量測數值，包括：前向功率、反射功率、駐波比 (VSWR)、回波損耗 (Return Loss)、反射係數。